Численный анализ влияния электростатических и температурных воздействий на деформационные характеристики слоистого чувствительного элемента микроакселерометра | Механика | композиционных | материалов и конструкций
> Том 15 > №4 / 2009 / Страницы: 527-538

Численный анализ влияния электростатических и температурных воздействий на деформационные характеристики слоистого чувствительного элемента микроакселерометра

,

Аннотация:

Исследуется влияние сил электростатического взаимодействия на деформационные характеристики слоистого чувствительного элемента микромеханического акселерометра при различных температурах окружающей среды. Приведены зависимости между измеряемым ускорением, деформированием слоистого чувствительного элемента и величиной емкости между обкладками конденсатора. Показано влияние сил кулоновского взаимодействия, возникающих между чувствительным элементом датчика и подложкой на выходные параметры микроакселерометра и на точность измерений. Решена связанная электромеханическая задача с учетом влияния внешнего температурного поля. Показана возможность появления «шумового» сигнала при нулевых внешних нагрузках, обусловленного влиянием дополнительной силы между подвижными обкладками конденсатора переменной емкости и влиянием температурного поля.

5